Поиск

Полнотекстовый поиск:
Где искать:
везде
только в названии
только в тексте
Выводить:
описание
слова в тексте
только заголовок

Рекомендуем ознакомиться

'Урок'
А.Бунина Сюжет рассказа «Чистый понедельник» 1 Практикум Составляют хронологическую таблицу Отвечают устно на вопросы Знают особенности жизни и творче...полностью>>
'Рассказ'
Стихи поэтов серебряного века. А. Блок, Брюсов, Андрей Белый, К.Бальмонт, М. Кузмин, Н. Гумилев, И. Северянин, А. Ахматова, О.Мандельштам, М. Цветаева...полностью>>
'Реферат'
За визначенням, яке дають педагогічний словник та енциклопедія, мислення – це опосередковане та узагальнене пізнання людиною предметів і явищ об”єкти...полностью>>
'Учебно-тематический план'
Цель: совершенствование психолого-педагогической подготовки профессорско-преподавательского состава в области общей дидактики и современных образоват...полностью>>

Методом pic моделируется разлет импульсной лазерной плазмы во внешнем электрическом поле, используемом для ускорения и имплантации ионов в твердые тела

Главная > Документ
Сохрани ссылку в одной из сетей:

УДК 539.2(06) Физика твердого тела

А.Г. ГНЕДОВЕЦ1 , В.Ю. ФОМИНСКИЙ, В.Е. КОШМАНОВ,
А.В. ХОРОМАНСКАЯ2

Московский инженерно-физический институт (государственный университет)

1Институт металлургии и материаловедения РАН

2Московский государственный университет сервиса

Моделирование имплантации

высокоэнергетичных ионов

из импульсной лазерной плазмы

Методом PIC моделируется разлет импульсной лазерной плазмы во внешнем электрическом поле, используемом для ускорения и имплантации ионов в твердые тела. Исследована зависимость энергетического спектра имплантируемых ионов от условий включения ускоряющих высоковольтных импульсов и их формы. Показана возможность применения разработанной модели для оптимизации требований к технологическим параметрам и оборудованию.

Методика ионно-имплантационной обработки из импульсной лазерной плазмы отличается высокой универсальностью и простотой технической реализации [1, 2]. Для получения плазмы используется импульсное лазерное излучение, которое способно испарять и ионизовать самые различные материалы. При разлете плазмы от мишени к обрабатываемой подложке к последней прикладывается высоковольтный импульс отрицательной полярности, который вызывает ускорение ионов и внедрение их в подложку.

Для моделирования лазерной плазмы во внешнем электрическом поле использовался метод «частиц в ячейке» (PIC). Разработанная модель позволяет рассчитать зависимости ионного тока и энергии имплантируемых ионов от формы высоковольтного импульса и времени его включения (относительно лазерного импульса). Результаты моделирования динамики ионной и электронной плотности, распределения потенциала в промежутке мишень – подложка объясняют физическую картину процессов в лазерной плазме, разлетающейся во внешнем электрическом поле. На рис. 1 представлены результаты моделирования ионной плотности и ионного тока в том случае, когда ускоряющий импульс треугольной формы включается через 1 мкс после лазерного импульса. Моделируется лазерная плазма от железной мишени.

На рис. 2 представлено рассчитанное энергетическое распределение ионов, имплантированных в подложку под воздействием высоковольтного импульса треугольной формы. Импульс включается через 1 мкс после лазерного.

Результаты расчетов достаточно хорошо коррелируют с опубликованными результатами экспериментальных исследований [2].

Работа выполнена при финансовой поддержке Гранта президента РФ для ведущих научных школ НШ-97.2003.2.

Список литературы

1. Fominski V.Yu. et al. Ion-assisted deposition of MoSx film from laser-generated plume under pulsed electric field/ J. Appl. Phys. 2001. V.89. P.1449-1457.

2. Fominski V.Yu. et al. Energy and dose characteristics of ion bombardment during pulsed laser deposition of thin films under pulsed electric field/ J.Appl. Phys. 2004. V.96. P.2374-2380.

204

ISBN 5-7262-0555-3. НАУЧНАЯ СЕССИЯ МИФИ-2005. Том 4



Скачать документ

Похожие документы:

  1. Академии наук

    Реферат
    6.Актуальные про-блемы физики кон-денсированных сред, в том числе кванто-вой макрофизики, мезоскопики, физики наноструктур, спин-троники, сверх-проводимости 79

Другие похожие документы..